真空泵廠(chǎng)家分析真空壓力控制系統(tǒng)如何優(yōu)化。芯片的刻蝕工藝通常要在一個(gè)受控的真空環(huán)境下工作，反應(yīng)腔的功能是在真空環(huán)境中保持工藝參數(shù)需要的壓力，去除不需要的水汽、空氣和附加反應(yīng)物；創(chuàng)建一個(gè)能夠使等離子體發(fā)生反應(yīng)的真空環(huán)境。為了降低刻蝕機(jī)真空壓力控制系統(tǒng)的成本，實(shí)現(xiàn)高真空獲得設(shè)備的清潔化、簡(jiǎn)單化和微型化，同時(shí)為了提高真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空，系統(tǒng)中的腔、真空泵以及連接管路和閥門(mén)的選配是很重要的。

刻蝕機(jī)為了保證刻蝕工藝需要的穩(wěn)定工作壓力，大抽速真空系統(tǒng)是必不可少的組成部分。萊諾真空泵廠(chǎng)家詳細(xì)地介紹反應(yīng)腔、真空泵的選擇、真空閥門(mén)的選配、真空計(jì)和真空檢測(cè)開(kāi)關(guān)、真空計(jì)和真空檢測(cè)開(kāi)關(guān)和連接管路。

關(guān)于真空系統(tǒng)的基本概念，東莞市萊諾機(jī)電科技有限公司整理出下面的內(nèi)容。

1、真空度

真空度是指一個(gè)封閉空間內(nèi)的氣體壓力小于外界大氣壓力的程度，其值也在零和大氣壓力之間，但其意義與絕對(duì)壓力相反。當(dāng)真空度為零時(shí)，表明封閉空間處于常壓狀態(tài);當(dāng)真空度等于大氣壓力時(shí)，表明封閉空間內(nèi)不存在任何物質(zhì)處于全真空狀態(tài)。

2、最大真空度

最大真空度，有的稱(chēng)極限真空度，也有稱(chēng)極限真空，均指真空泵抽氣時(shí)可以達(dá)到的最低絕對(duì)壓力值，是真空泵的基本工藝性能參數(shù)。其單位各樣本不一，選用時(shí)注意單位換算。

3、抽氣速率

它主要包括定量、流量和抽氣速率。定量的氣體分子在指定的溫度下其占據(jù)的空間體積與氣體壓力有關(guān)。流量指單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)真空系統(tǒng)某一斷面的氣量。抽氣速率指單位時(shí)間內(nèi)，由真空泵從封閉空間內(nèi)抽出的氣體體積數(shù)。封閉空間的氣體體積與其絕對(duì)壓力有關(guān)。

4、封閉空間的抽氣速率

封閉空間的抽氣速率是指將一個(gè)封閉空間造成一定真空時(shí)所需的抽氣速率，是被抽氣體在出離封閉空間處的速率。其影響因素主要有：

①漏入封閉空間的外界空氣量。雖然有些封閉空間可以做到只有極低的空氣泄漏量，但幾乎沒(méi)有一個(gè)能達(dá)到完全氣密。實(shí)踐證明，必須考慮空氣泄漏量。

②泄漏空氣中飽和的可凝蒸氣量。對(duì)一個(gè)存在氣液兩相的封閉空間，在抽氣造真空時(shí)，其液面上的可凝蒸氣也將被抽走，所以必須考慮這些可凝蒸氣的量。

③生產(chǎn)過(guò)程釋放的空氣量和不凝氣體量。

5、真空泵的抽氣速率

真空泵的抽氣速率是指真空泵本身具有的抽氣速率，是被抽氣體在真空泵進(jìn)囗處的速率，它是真空泵的另一個(gè)基本工藝性能參數(shù)。